Phụ kiện FormFactor – Hoàn thiện hệ thống đo kiểm wafer và bán dẫn

Trong một hệ thống kiểm tra bán dẫn, máy probe station chỉ là nền tảng ban đầu. Để đưa đầu dò đến đúng vị trí, giữ wafer ổn định và đảm bảo tín hiệu đo chính xác, hệ thống còn cần nhiều Phụ kiện FormFactor chuyên dụng. Các thành phần này được sử dụng cùng probe station, analytical probe và thiết bị đo điện tử trong quá trình nghiên cứu hoặc kiểm tra wafer.

Phụ kiện FormFactor đặc biệt phù hợp cho phòng R&D bán dẫn, nhà máy semiconductor, phòng đo RF và các trung tâm nghiên cứu vi điện tử. Tùy cấu hình, người dùng có thể lựa chọn probe positioner, wafer chuck, probe holder, calibration substrate và nhiều thành phần hỗ trợ khác.

Đại lý FormFactor tại Việt Nam

Phụ kiện FormFactor đóng vai trò gì trong hệ thống wafer test?

Một phép đo trên wafer đòi hỏi độ chính xác rất cao. Đầu probe phải tiếp xúc đúng pad, wafer phải được giữ ổn định và toàn bộ đường truyền tín hiệu cần phù hợp với phép đo.

Đây chính là lý do Phụ kiện FormFactor trở thành một phần quan trọng của hệ thống. Chúng giúp kết nối probe với probe station, hỗ trợ positioning và tạo môi trường phù hợp cho từng phép thử.

Với phép đo DC, yêu cầu phụ kiện sẽ khác phép đo RF. Khi chuyển sang mmWave, THz hoặc high-power semiconductor, yêu cầu về Phụ kiện FormFactor càng trở nên chuyên biệt.

Các nhóm Phụ kiện FormFactor thường sử dụng

Probe Positioner FormFactor – Điều chỉnh vị trí đầu dò

Probe positioner được sử dụng để đưa analytical probe đến vị trí cần đo trên wafer. Đây là một trong những Phụ kiện FormFactor quan trọng đối với các probe station manual và engineering probe system.

Positioner hỗ trợ người vận hành điều chỉnh đầu dò theo nhiều hướng. Probe tip sau đó được căn chỉnh chính xác với contact pad của DUT.

Trong hệ thống RF hoặc mmWave, positioner còn phải đảm bảo probe được giữ chắc chắn. Điều này giúp hạn chế dịch chuyển trong quá trình characterization.

Probe Holder FormFactor – Bộ gá đầu dò

Probe holder đảm nhận nhiệm vụ cố định probe lên positioner. Mặc dù có kết cấu nhỏ, bộ phận này ảnh hưởng trực tiếp đến khả năng lắp đặt đầu dò.

Phụ kiện FormFactor thuộc nhóm probe holder cần được chọn theo loại analytical probe đang sử dụng. Không phải mọi holder đều có thể lắp cho mọi probe.

Khi thay thế probe holder, người dùng nên cung cấp model probe, model positioner và probe station. Nếu có Part Number cũ, việc xác định sản phẩm sẽ chính xác hơn.

Wafer Chuck FormFactor – Giữ wafer ổn định khi đo

Một nhóm Phụ kiện FormFactor khác rất quan trọng là wafer chuck. Bộ phận này tạo bề mặt đặt wafer và giữ wafer trong trạng thái ổn định trong suốt quá trình probing.

Tùy ứng dụng, chuck có thể được tối ưu cho các phép đo khác nhau. Ví dụ nền tảng MPS150 của FormFactor có những lựa chọn chuck phục vụ Coax, Triax, RF, Thermal và High Power.

Như vậy, lựa chọn wafer chuck không chỉ phụ thuộc kích thước wafer. Người dùng còn phải xác định loại phép đo và điều kiện vận hành.

Thermal Chuck FormFactor

Khi cần khảo sát semiconductor ở nhiều mức nhiệt độ, thermal chuck trở thành Phụ kiện FormFactor cần thiết.

Thermal chuck cho phép wafer được kiểm tra trong điều kiện nhiệt độ được kiểm soát. Điều này hữu ích khi đánh giá đặc tính linh kiện theo nhiệt độ.

Các ứng dụng thường liên quan đến SiC, GaN, MOSFET, IC, sensor, MEMS và power semiconductor.

Phụ kiện FormFactor cho đo RF và mmWave

RF characterization đặt ra yêu cầu cao hơn đối với đường truyền tín hiệu. Chỉ một thay đổi nhỏ trong kết nối cũng có thể ảnh hưởng đến kết quả đo.

Vì vậy, Phụ kiện FormFactor dành cho RF thường được lựa chọn đồng bộ với analytical probe, VNA và probe station.

Hệ thống có thể bao gồm RF probe, positioner, RF cable, adapter và calibration solution. Từng thành phần cần tương thích với dải tần của phép đo.

Đối với mmWave và THz, yêu cầu này càng quan trọng. Các thành phần không phù hợp có thể làm tăng suy hao và ảnh hưởng độ tin cậy của dữ liệu.

Calibration Substrate FormFactor – Phụ kiện hiệu chuẩn

Calibration là bước quan trọng trước khi thực hiện phép đo RF trên wafer.

Calibration Substrate FormFactor cung cấp các chuẩn tham chiếu cần thiết để hiệu chuẩn hệ thống đo. Mục tiêu là đưa reference plane đến gần DUT và giảm ảnh hưởng từ những thành phần nằm trước điểm đo.

Đây là nhóm Phụ kiện FormFactor thường đi cùng các dòng analytical RF probe.

Khi lựa chọn calibration substrate, cần kiểm tra loại probe, pitch, frequency range và phương pháp calibration của hệ thống.

Phụ kiện cho Đầu dò FormFactor

Đầu dò FormFactor có nhiều cấu hình dành cho DC, RF, microwave, mmWave và những ứng dụng đặc biệt. Vì vậy, hãng cũng có các thành phần hỗ trợ tương ứng.

Nhóm Phụ kiện FormFactor cho đầu dò có thể liên quan đến holder, positioner, adapter, cable và calibration solution.

Đặc biệt với những dòng như Infinity, InfinityXT và InfinityXF, cần kiểm tra kỹ cấu hình probe trước khi lựa chọn phụ kiện.

Ví dụ, hai đầu dò cùng thuộc Infinity series nhưng khác pitch hoặc connector có thể yêu cầu cấu hình phụ kiện khác nhau.

Phụ kiện FormFactor cho MPS150

MPS150 là một nền tảng probe station 150 mm có khả năng cấu hình cho nhiều phép đo. Chính đặc điểm modular này tạo ra nhu cầu sử dụng nhiều Phụ kiện FormFactor khác nhau.

MPS150 có thể được cấu hình cho I-V/C-V, RF, mmWave, THz, Load-Pull, Failure Analysis và High Power.

Một hệ thống MPS150 dùng cho DC characterization sẽ có cấu hình khác hệ thống MPS150 dùng cho RF.

Nếu ứng dụng chuyển sang high-power semiconductor, chuck, probe và các thành phần kết nối cũng cần được lựa chọn phù hợp với dòng điện hoặc điện áp thử nghiệm.

Phụ kiện FormFactor cho SUMMIT200

SUMMIT200 hướng tới wafer 200 mm và hỗ trợ nhiều ứng dụng characterization. Do hệ thống có mức tự động hóa cao hơn probe station manual, danh mục phụ kiện cũng phức tạp hơn.

Phụ kiện FormFactor cho SUMMIT200 có thể phục vụ wafer handling, probing, thermal testing, RF measurement và các cấu hình đo chuyên dụng.

Khi cần thay thế phụ kiện SUMMIT200, serial number của máy rất hữu ích. Cấu hình xuất xưởng của từng hệ thống có thể khác nhau.

Phụ kiện FormFactor cho CM300xi

Đối với wafer 300 mm, CM300xi là một trong những hệ thống nổi bật của FormFactor.

Các Phụ kiện FormFactor sử dụng cùng CM300xi có thể liên quan đến wafer positioning, chuck, probe, thermal system, RF measurement và wafer handling.

Vì CM300xi có nhiều tùy chọn cấu hình, không nên lựa chọn phụ kiện chỉ dựa trên tên máy. Part Number và serial number nên được kiểm tra trước khi đặt hàng.

Bảng tổng hợp Phụ kiện FormFactor

Phụ kiện FormFactor được ứng dụng ở đâu?

Phụ kiện FormFactor không phải nhóm phụ kiện tự động hóa phổ thông. Chúng tập trung vào các hệ thống semiconductor test & measurement.

Sản phẩm phù hợp với nhà máy sản xuất bán dẫn, trung tâm R&D và phòng thí nghiệm vi điện tử. Ngoài ra, Phụ kiện FormFactor còn được sử dụng trong nghiên cứu RFIC, MMIC, MEMS và Silicon Photonics.

Các lĩnh vực 5G/6G, GaN, SiC, mmWave và THz cũng có nhu cầu sử dụng probe station cùng những phụ kiện đo chuyên dụng.

Khi nào cần thay thế Phụ kiện FormFactor?

Probe station có thể hoạt động trong thời gian dài. Tuy nhiên, một số thành phần sẽ cần thay thế, nâng cấp hoặc thay đổi khi yêu cầu đo thay đổi.

Ví dụ, phòng lab đang thực hiện phép đo DC có thể cần bổ sung hệ thống RF. Khi đó, Phụ kiện FormFactor liên quan đến RF probe, positioner, cable và calibration cũng cần được xem xét.

Một trường hợp khác là thay analytical probe. Probe mới có cấu hình khác có thể kéo theo yêu cầu thay holder hoặc thành phần kết nối.

Do đó, việc kiểm tra toàn bộ cấu hình trước khi mua Phụ kiện FormFactor sẽ hạn chế tình trạng không tương thích.

Để biết thêm thông tin chi tiết về Phụ kiện FormFactor, Máy kiểm tra wafer FormFactor vui lòng liên hệ trực tiếp tới công ty chúng tôi

CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT CÔNG NGHỆ HOÀNG THIÊN PHÁT

Địa chỉ: 237/49C Phạm Văn Chiêu , Phường An Hội Tây, TP.Hồ Chí Minh, Việt Nam

Sales4:  0938.804.977               

Email:  sales4@hoangthienphat.com                  

Trang web : https://dailythietbidietkhuan.com/