Máy kiểm tra wafer FormFactor – Probe Station cho đo kiểm bán dẫn chính xác

Máy kiểm tra wafer FormFactor là hệ thống probe station chuyên dụng cho đo kiểm và phân tích linh kiện trực tiếp trên wafer. Thiết bị được sử dụng trong nghiên cứu bán dẫn, phát triển IC, RF/mmWave, MEMS, Silicon Photonics và linh kiện công suất.

FormFactor Việt Nam phát triển hệ thống từ 150 mm, 200 mm đến 300 mm, với cấu hình manual, semi-automatic và fully automatic. Các hệ thống phục vụ nhiều công đoạn như characterization, modeling, process development, design debug và failure analysis.

Máy kiểm tra wafer FormFactor hoạt động như thế nào?

Wafer chứa hàng trăm hoặc hàng nghìn die bán dẫn rất nhỏ. Trước khi chuyển sang các công đoạn tiếp theo, kỹ sư cần xác định đặc tính điện của từng device hoặc cấu trúc thử nghiệm.

Máy kiểm tra wafer FormFactor giữ wafer trên chuck và đưa các probe FormFactor tiếp xúc chính xác với pad của DUT. Hệ thống sau đó kết nối với thiết bị đo như semiconductor parameter analyzer, VNA hoặc SMU để thu thập dữ liệu.

Nhờ vậy, kỹ sư có thể thực hiện phép đo mà không cần đóng gói chip trước.

Các dòng máy kiểm tra wafer FormFactor nổi bật

FormFactor MPS150 – Probe Station 150 mm

MPS150 là probe station dạng manual, modular dành cho wafer và substrate kích thước đến 150 mm.

Điểm mạnh của MPS150 nằm ở khả năng cấu hình linh hoạt. Người dùng lựa chọn base station rồi bổ sung các bộ kit phù hợp với phép đo.

FormFactor hiện cung cấp các tùy chọn MPS150 cho:

IV/CV – RF – mmWave – THz – Load-Pull – Failure Analysis – High Power.

Hệ thống cũng hỗ trợ nhiều loại chuck như Coax, Triax, RF, Thermal và High Power.

FormFactor SUMMIT200 – Hệ thống kiểm tra wafer 200 mm

SUMMIT200 là một trong những dòng đáng chú ý khi SEO từ khóa Máy kiểm tra wafer FormFactor.

Đây là hệ thống 200 mm hướng đến R&D, device characterization/modeling và các ứng dụng sản xuất chuyên biệt. Máy có cấu hình semi-automatic và fully automatic.

SUMMIT200 hỗ trợ các phép đo:

DC – RF – mmWave – THz – ultra-low noise – thermal measurement.

Một điểm nổi bật là khả năng kiểm soát nhiệt độ rộng. Phiên bản hiện tại được hãng công bố hỗ trợ khoảng -60°C đến +300°C. Hệ thống còn có tùy chọn cassette handling đến 50 wafer.

FormFactor CM300xi – Probe Station 300 mm

Với các ứng dụng wafer lớn, CM300xi là dòng rất quan trọng của FormFactor.

Theo tài liệu hiện hành của hãng, CM300xi là hệ thống modular hỗ trợ nhiều phép đo như I-V/C-V, RTN và RF. Hệ thống có thể triển khai semi-automated hoặc fully automated, đồng thời hỗ trợ wafer 200 mm và 300 mm tùy cấu hình.

Đây là dòng phù hợp cho các trung tâm R&D bán dẫn, engineering lab và những ứng dụng cần tự động hóa quá trình wafer probing.

FormFactor EVOLVITY 300

EVOLVITY 300 là hệ thống probe wafer 300 mm semi-automated mới hơn trong danh mục FormFactor.

Hãng thiết kế EVOLVITY 300 tập trung vào RF/DC modeling và device characterization. Hệ thống hướng đến việc đơn giản hóa thao tác on-wafer probing trong khi vẫn đáp ứng yêu cầu chính xác của engineering test.

FormFactor MPS150-SiPh – kiểm tra Silicon Photonics

Không chỉ kiểm tra điện, FormFactor còn có các hệ thống dành riêng cho Silicon Photonics.

MPS150-SiPh là manual probe station hướng đến nghiên cứu và characterization Silicon Photonics. Thiết bị hỗ trợ các ứng dụng surface coupling và horizontal edge coupling.

Đây là nhóm máy phù hợp cho R&D photonic IC, optical communication và các công nghệ kết hợp điện – quang.

Bảng model Máy kiểm tra wafer FormFactor

*CM300xi có các cấu hình xử lý kết hợp wafer 200/300 mm. Danh mục 200 mm của hãng hiện liệt kê SUMMIT200, Summit, PM8, PA210 BlueRay, EPS200RF và EPS200MMW.

Máy kiểm tra wafer FormFactor đo được những gì?

Đo đặc tính I-V và C-V

Máy kiểm tra wafer FormFactor có thể kết hợp với semiconductor parameter analyzer để thực hiện phép đo I-V và C-V.

Các phép đo này rất quan trọng khi characterization transistor, diode và các cấu trúc semiconductor.

FormFactor còn cung cấp hệ thống tích hợp IMS-K-DC, kết hợp probe station, analytical probe và Keysight SPA cho phép đo DC parametric trực tiếp trên wafer.

Đo RF, mmWave và THz

Đây là thế mạnh đáng chú ý của hệ sinh thái FormFactor.

Probe station có thể kết hợp Infinity Probe, T-Wave Probe, frequency extender và VNA để xây dựng hệ thống characterization tần số cao.

FormFactor hiện có giải pháp IMS-K-mmW/THz dành cho phép đo S-parameter từ RF qua millimeter-wave đến Terahertz.

Kiểm tra linh kiện công suất

Máy kiểm tra wafer FormFactor còn được sử dụng để characterization power semiconductor.

MPS150 có cấu hình High Power hỗ trợ phép đo dòng đến 100 A, điện áp đến 3 kV ở cấu hình được hãng mô tả và có tùy chọn nâng cấp 10 kV coax.

Ứng dụng này đặc biệt phù hợp với nghiên cứu SiC, GaN, MOSFET, IGBT và power device.

Đo Silicon Photonics

Các hệ thống Silicon Photonics của FormFactor cho phép kết hợp probing điện và quang trên wafer.

Giải pháp của hãng hỗ trợ nhiều phương pháp từ single fiber đến fiber array, vertical coupling và edge coupling.

Cấu tạo một hệ thống kiểm tra wafer FormFactor

Một Máy kiểm tra wafer FormFactor hoàn chỉnh có thể bao gồm probe station, wafer chuck, microscope hoặc vision system, probe positioner, analytical probes, thermal system và phần mềm điều khiển.

Với hệ thống tự động, phần mềm Velox hỗ trợ wafer alignment, wafer mapping, probe-to-pad alignment và điều khiển các chức năng của probe station. Velox được FormFactor phát triển cho các hệ thống wafer 200 mm và 300 mm semi/fully automated.

Điểm quan trọng là probe station không phải lúc nào cũng đồng nghĩa với một máy đo hoàn chỉnh. Tùy phép thử, khách hàng vẫn cần VNA, parameter analyzer, SMU hoặc các thiết bị đo chuyên dụng khác.

Ứng dụng Máy kiểm tra wafer FormFactor trong nhà máy

Máy kiểm tra wafer FormFactor phù hợp với các môi trường có yêu cầu đo kiểm semiconductor chuyên sâu như nhà máy sản xuất chip, phòng R&D bán dẫn, trung tâm thiết kế IC, phòng thí nghiệm RF/mmWave, nghiên cứu MEMS, Silicon Photonics và power semiconductor.

Đối với các dự án mới, cần xác định rõ wafer size, loại DUT và phép đo trước khi chọn model.

Ví dụ, R&D wafer nhỏ và cần thao tác manual có thể xem xét MPS150. Wafer 200 mm cần mức tự động hóa cao hơn có thể chọn SUMMIT200. Với wafer 300 mm, CM300xi hoặc EVOLVITY 300 là những dòng đáng quan tâm.

Để biết thêm thông itn chi tiết về đầu dò  FormFactor,  Máy kiểm tra wafer FormFactor vi lòng liên hệ trực tiếp tới công ty chúng tôi

CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT CÔNG NGHỆ HOÀNG THIÊN PHÁT

Địa chỉ: 237/49C Phạm Văn Chiêu , Phường An Hội Tây, TP.Hồ Chí Minh, Việt Nam

Sales4:  0938.804.977               

Email:  sales4@hoangthienphat.com                  

Trang web : https://dailythietbidietkhuan.com/